算命

　

　　無塵室之分類 1。亂流式(Turbul無塵室設備工程ent Flow)：空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室，並由無塵室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於無塵室等級1，000-100，000級。優點：構造簡單、系統建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可並用無塵工作台，提高無塵室等級。缺點：亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時相當長一段時間。 2。層流式(Laminar)：層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，並由高架地板或兩側隔牆板回風，此型式適用於無塵室等級需定較高之環境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。

　　其型式可分為二種： (1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊牆壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。優點：構造簡單，運轉後短時間內即可變成穩定。缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。 (2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，HEPA不易為作業狀態或作業人員所影響。缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

　　3。復合式(Mixed Type)：復合式為將亂流式及層流式予以復合或並用，可提供局部超潔淨之空氣。 (1)潔淨隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔淨隧道另有二項優點：A。彈性擴充容易； B。維修設備時可在維修區輕易執行。 (2)潔淨管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔淨度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。 (3)並裝局部無塵室(Clean Spot)：將無塵室等級10，000~100，000之亂流無塵室內之產品制程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔淨工作台、潔淨工作棚、潔淨風櫃即屬此類。 潔淨工作台：等級Class 1~100級。潔淨工作棚：為在亂流式之無塵室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔淨空間，其等級為10~1000級，